据业内透露，截至第二季度，ASML EUV 设备出货总量达到 102 台，随着需求量的提高和客户群的扩大，预计 2 年内累计供应量将增加 2 倍以上，标志着 EUV 时代正式拉开帷幕。
据 ETNews 报道，过去四个季度（2020 年第三季度-2021 年第二季度），ASML EUV 设备出货总计 40 台，较之前四个季度（2019 年第三季度-2020 年第二季度）增长了 66%。ASML 今年的出货目标是 40 台左右，下半年将供应 25 台左右。
ASML 扩大 EUV 设备供应响应了半导体制造业实现超微电路层的需求。尽管每台设备的价格达到 1.71 亿美元，但由于其卓越的工艺成本和省时效果，可以抵消设备采购的成本。业内人士指出，通过 EUV 可以降低设备成本和工艺成本，因此，在微加工领域引进 EUV 设备的企业越来越多。
根据 ASML 的说法，5-7nm 逻辑半导体（以每月 45,000 颗晶圆为基准）每个 EUV 层需要一台 EUV 设备，16nm 及以下节点 DRAM（以每月 100,000 颗晶圆为基准）每个 EUV 层则需要 1.5-2 台设备。三星电子计划，到今年下半年为止，将 14nm DDR5 DRAM 的 EUV 应用层数从 1 层增加到 5 层，SK 海力士也计划增加 EUV 应用层数，因此，预计 EUV 设备的需求将进一步增加。
除了 EUV 层的增加，EUV 设备的客户群也在逐渐扩大。继 2018 年三星电子首次引进 7nm 制程的 EUV 设备后，台积电和 SK 海力士也加入了 EUV 竞争。美国的美光和英特尔也在推进 EUV 设备的引进，预计市场规模将进一步扩大。
业界预测，EUV 时代将全面加速发展。因此，ASML 计划通过增加设备供应来满足需求。ASML 首席执行官 Peter Wennink 在第二季度财报会议上表示:“我们计划明年将 EUV 设备的产量增加到 55 台，到 2023 年将达到 60 台。”两年后，市场上将有 240 多台 EUV 设备投入使用，超过了目前积累的供应量。
但据观察，台积电已确保了目前供应的半数 EUV 设备。台积电拥有约 50 台 EUV 设备。考虑到 EUV 设备的目前由 ASML 独家供应，三星电子、SK 海力士等半导体企业很难在短时间内确保有足够的设备。