除了大家都知道的光刻机，半导体设备生产中还需要各种设备，国内的中微半导体设备公司已经能够生产高端刻蚀设备，其5nm刻蚀机已经批量生产，用于台积电的5nm生产线中。
中微半导体上周末发布了2019年财报，全年实现营业收入19.47亿元，同比增长18.77%；实现归母净利润1.89亿元，同比增长107.51%。
根据该公司年报，中微公司开发的高端刻蚀设备已运用在国际知名客户65纳米到7纳米的芯片生产线上。
同时，公司根据先进集成电路厂商的需求，已开发出5纳米刻蚀设备用于若干关键步骤的加工，并已获得行业领先客户的批量订单——虽然中微没有明说，但是这家客户就是台积电，也只有他们量产了5nm工艺。