氟化氩光刻机 – 风君子博客

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国产光刻机取得重大进展氟化氩光刻机套刻≤8nm

风君子博客9月15日消息，从工业和信息化部在官网公布的《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》来看，国产光刻机已取得重大突破，氟化氩光刻机套刻≤8nm。 ...