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上海微电子2月7日举行首台2.5D/3D先进封装光刻机发运仪式，这标志着中国首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付客户。

2 月 … Continue reading 上海微电子：中国首台 2.5D / 3D 先进封装光刻机正式交付客户

近日上海微 … Continue reading 上海微电子新型光刻机专利曝光，可提高光刻机的分辨率

9 月 19 日 … Continue reading 上海微电子推出新一代先进封装光刻机：首台将于年内交付

　　在经历了中兴事件之后 … Continue reading 上海微电子28nm光刻机明年交付！意义何在